中圖儀器SuperViewW光學(xué)表面三維形貌輪廓測量儀以白光干涉技術(shù)原理，用于對各種精密器件表面進行納米級測量,。通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量,。典型結(jié)果包括：

表面形貌（粗糙度,，平面度，平行度,，臺階高度,，錐角等等）；

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸,，曲率半徑,，特征區(qū)域的面積和體積，特征圖形的位置和數(shù)量等等）,；

SuperViewW光學(xué)表面三維形貌輪廓測量儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工,、微納材料及制造,、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中,。可測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等,。

產(chǎn)品功能

(1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能,；

(2)測量中提供自動對焦,、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能,；

(3)測量中提供自動拼接測量,、定位自動多區(qū)域測量功能；

(4)分析中提供校平,、圖像修描,、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

(5)分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能；

(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

性能特色

1,、高精度、高重復(fù)性

1）采用光學(xué)干涉技術(shù),、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng),，保證測量精度高；

2）隔振系統(tǒng),，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,，獲得高測量重復(fù)性；

2,、環(huán)境噪聲檢測功能

具備的環(huán)境噪聲檢測模塊能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動干擾,，在設(shè)備調(diào)試、日常監(jiān)測,、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐,。

3、精密操縱手柄

集成X,、Y,、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移,、Z向聚焦,、找條紋等測量前工作,。

4、雙重防撞保護措施

在初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進行防撞保護外,，另在Z軸上設(shè)計有機械電子傳感器,，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進入緊急停止?fàn)顟B(tài),，最大限度的保護儀器,，降低人為操作風(fēng)險。

5,、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配靜音空壓機,，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。

針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度,、大掃描范圍的需求,，中圖儀器SuperView W1的復(fù)合型EPSI重建算法，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小,、垂直法VSI精度低的雙重缺點,。在自動拼接模塊下，只需要確定起點和終點,，即可自動掃描,，重建其超光滑的表面區(qū)域，不見一絲重疊縫隙,。具有的特殊光源模式,，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度,、粗糙度、波紋度,、面形輪廓,、表面缺陷、磨損情況,、腐蝕情況,、孔隙間隙、臺階高度,、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

應(yīng)用范例：

部分技術(shù)指標(biāo)

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